德國PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
   PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。

具有孔徑的高精度XY掃描儀

P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

§ X和Y向上的行程達100微米×100微米

§ 電容式傳感器使分辨率達0.1納米

§ 帶直接驅動器的高速版本

§ 可提供真空兼容和非磁性版本

§ 并聯運動實現更高精度和動態

§ 導向誤差主動補償的并行計量

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光 應用

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現*運行1000億個循環。

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

直接位置測量帶來大精度

運動直接在運動平臺上測量，*不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現jia的重復精度、優異的穩定性和剛性 、快速響應控制。

并聯運動實現高動態多軸操作

在并聯多軸系統中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質量慣性和相同的設計，可實現快速、動 態和精密的運動。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可 實現極低的排氣率。

訂購信息

帶直接驅動器

P-733.2DD 高動態精密XY向納米定位系統，30 微米 × 30 微米，直接驅動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

 P-733.2CD 精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-733.2CL 精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

配件

P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上

線性定位器，真空兼容達10-9百帕

P-733.2VL 精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2VD 精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD 精密XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

德國PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器